检测项目
X射线光电子能谱(XPS)

 

仪器图片

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仪器名称

X射线光电子能谱(XPS)

仪器型号

ESCALAB250Xi

生产厂家

赛默飞世尔公司

仪器简介

Escalab 250Xi型电子能谱仪是一台多功能高性能的表面分析仪器,它可以用于研究各种固体材料样品表面(1-10nm厚度)的元素种类、化学价态以及相对含量。结合离子刻蚀技术还可以获得元素及化学态深度分布信息;通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息;利用微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息。在金属、玻璃、高分子、半导体、纳米材料、生物材料以及催化等领域有广泛应用。本仪器以X射线光电子能谱为主要功能,还带有俄歇电子能谱、紫外光电子能谱、反射电子能量损失谱及离子散射谱等附件功能

技术参数

1.能量扫描范围:1-4000eV;
2.最佳能量分辨率:≤0.45eV(XPS),100meV(UPS);
3.最佳空间分辨率:≤3 μm (X射线光电子成像);
4.最佳灵敏度:1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰)。

主要功能

提供固体物质表面几个至几十个原子层的元素定性、定量信息和化学状态信息(3-92号元素);
可对非均相覆盖层(如薄膜)进行深度分布分析,了解元素随深度分布的情况;
还可利用UPS(紫外光电子能谱)研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。

检测案例

样品要求

1.块状和薄膜样品,其长宽最好小于10 mm,高度小于3 mm;刻蚀的样品尺寸尽量做5-10mm的方块;

2.粉末样品,不少于15 mg;

 

 


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